设备故障诊断系统资讯：无线电波工业公司研制了一种可检测 ± 50Kgal的石英无线振动传感器

无线电产业开发了以应时晶体为传感元件的传感器模块，可以频率检测重力、加速度、倾斜、位移等物理量的微小变化。一体化振动变送器将压电传感器和精密测量电路集成在一起，实现了传统“传感器+信号调理器”和“传感器+监测仪表”模式的振动测量系统的功能；适合构建经济型高精度振动测量系统。无线振动传感器基于无线技术的机器状态监测，具有振动测量及温度测量功能，操作简单，自动指示状态报警。应用于工业设备状态管理及监测控制系统；适合现场设备运行和维护人员监测设备状态，及时发现问题，保证设备正常可靠运行。振动故障诊断监测系统分析范围20KHz；缓变信号通道不少于32路，16位精度，动态信号通道不少于4路，102.4kS/s；系统变携，可以自带电源连续工作4小时。加速度的*大检测范围为50kGal，*小精度为1mGal。与原有的MEMS传感器相比，加速度检测范围和精度提高了一个数量级，可以在较宽的动态范围内检测加速度。适用于地震勘测、资源勘探、结构振动测量、测斜仪、土木测量、平衡调整\\ u002f机械和车辆速度检测、人工触摸、磁场检测和自动无人机械。

该模块在安装了温度补偿用恒温槽之后的尺寸*大为W100mmD100mmH75mm。重550g。该模块构造方法简单，能够可以直接影响无线网络传输技术检测分析数据，而且我们不需要将电压转换成频率的装置，因此，不论单个模块的成本管理还是装入测量、勘探信息系统后的总体设计成本问题都得以降低。对于企业设置和拆除工作，还有一些利于减轻经济负担和缩短时间。

与其他传感器材料相比，石英晶体具有弹性好（约为硅的1600倍）、抗冲击性好、探测范围宽等优点。 然而，由于石英晶体的机电耦合系数小于其它材料的机电耦合系数，因此对于传感器和元件需要高度稳定的微制造技术，并且对于检测信号需要频率稳定技术。 作为石英晶体器件的综合制造商，公司开发的这些技术的开发得到了进一步的改进。

为了检测微小的变化，技术人员将传感器组件做成悬臂梁的形状，电极与自由端相对电极之间距离的变化首先转换成静电容量的变化，然后转换成频率。这种材料由***的人造石英晶体制成，这是一种 AT 切割的石英晶体振荡器，由于温度的变化，频率变化很小。在样品价格方面，温度补偿模块的参考价格为每个15万日元。